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北京石墨舟的使用和制造情况介绍

发表时间:2020/7/30 18:23:00   来源:http://beijing.mishansm.com/news428850.html

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  石墨舟推舟系统采用软着陆的方式,即将石墨舟放到反应管内部后,石墨舟推舟机构将退出,自动门关上。载片舟是经特殊设计,在X轴、Y轴、Z轴三个方向可微调,再经精加工而成。它直接影响到电场的分布、等离子的产生、气流的走向、膜的品质。成膜压力甚至气体的流量都与此结构有关,所以推舟系统是本设备的核心部件。

  使用像扩散炉管一样的石英管作为沉积腔室,使用电阻炉作为加热体,将一个可以放置多片硅片的石墨舟插进石英管中进行沉积。

 

  石墨舟及制造方法,在石墨舟毛坯料中浸渍有树脂,石墨舟毛坯经过固化处理、加工、高温处理使树脂充分炭化,在石墨舟表面形成一层薄膜,包括以下步骤:先把石墨原材料放置在真空炉内高温纯化、形成石墨舟毛坯料;石墨舟毛坯料放入调配的树脂中浸渍;石墨舟毛坯料固化处理形成坯体;固化后的坯体加工成成品;加工完的成品高温处理,树脂炭化,在成品表面形成薄膜;能够在石墨舟片表面形成一层均匀的抗氧化薄膜使用寿命长,降低了使用和维护成本,具有良好的经济效益和社会效益。

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